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真空感應定向凝固爐 KZJT-15-16

真空感應定向凝固爐 KZJT-15-16

所屬分類:真空定向凝固爐

產(chǎn)品型號:

更新時間:2025-01-07

描述:真空感應定向凝固爐 KZJT-15-16用途

  主要用于LED行業(yè)的寶石類晶體制備,氟化物類晶體生長,燒結(jié),退火等處理

詳細信息






· 真空感應定向凝固爐 KZJT-15-16用途

  主要用于LED行業(yè)的寶石類晶體制備,氟化物類晶體生長,燒結(jié),退火等處理

·真空感應定向凝固爐 KZJT-15-16產(chǎn)品特點

1·模塊化設(shè)計,結(jié)構(gòu)緊湊,外形美觀,

2·采用底部電動升降和鐘罩式爐體升降,結(jié)構(gòu)精巧,方便,移動平穩(wěn)裝卸料方便

3· 采用觸摸屏+plc控制方式,自動化程度高,操作直觀,功能強大。

4· 在觸摸屏內(nèi)可預存幾十種燒結(jié)工藝,一次編輯,以后直接調(diào)用使用,省去多次編輯工藝的麻煩,避免輸入錯誤,燒壞產(chǎn)品。

5· 燒結(jié)的溫度,真空度,等數(shù)據(jù)可實時記錄,也可隨時啟動停止記錄,減少無用數(shù)據(jù),數(shù)據(jù)可查詢,可導出下載。

6· 燒結(jié)溫度高,用石墨發(fā)熱體,可達1600℃,

·設(shè)備參數(shù)

1·設(shè)備總功率:≤15Kw;電源電壓:3相380V,50Hz

2·溫度:1650℃ 加熱功率 ≤8Kw 單相220V

3·額定溫度:室溫~1600℃

4. 工作區(qū)尺寸:Ф60×100mm(直徑×高,)

5·爐體內(nèi)徑Ф300Ф500mm(暫定)

6.測溫系統(tǒng):                   鎢萊熱電偶

7.控溫精度:                   ±0.1℃

8.加熱區(qū):                    Ф80×120mm

9.坩堝下降速度:              慢速升降0.1-10mm/h(伺服控制)

快速升降50-200mm/min(帶手動升降)

位移行程 ≤150mm

10.中心軸有效行程/載重:      ≤300mm/20kg

11.爐內(nèi)充氣壓力:             ≤0.05MPa

、結(jié)構(gòu)說明

1、爐蓋:采用雙層水夾層結(jié)構(gòu),內(nèi)外壁為304不銹鋼,內(nèi)外壁與爐體上下法蘭組焊成整體結(jié)構(gòu),爐蓋設(shè)有鎖緊裝置。內(nèi)外壁都做精密拋光處理,爐蓋上留有充放氣閥,壓力表等標準接口。

2、爐體機構(gòu):同樣采用外壁為304不銹鋼材料雙層水夾層結(jié)構(gòu),內(nèi)、外壁作精密拋光處理,爐體與下法蘭組成筒型結(jié)構(gòu),法蘭平面開設(shè)密封槽。采用“O"形圈真空密封,并設(shè)水冷裝置(防止因溫度過高使“O"形圈老化。側(cè)部設(shè)計有加熱電極以及測溫裝置接口,還配置有標準KF真空接口。

3、爐底及升降裝料機構(gòu):爐底與爐體采用“O"圈真空密封,并設(shè)水冷裝置,真空系統(tǒng)及坩堝電動伺服絲桿升降,爐底與爐體的聯(lián)接均采用緊固壓緊密封。爐底法蘭整個安裝在一線性模組上,可整體升降,用于裝卸材料使用。爐底配置晶體生長用線性模組,由伺服電機帶動,用于坩堝升降,做晶體生長使用。升降桿與爐底采用焊接波紋管密封,防止行走過程真空的泄漏,保證密封的可靠性。

4、發(fā)熱元件及隔熱屏:加熱采用高純石墨作發(fā)熱體,純度高,無揮發(fā),有效保證爐腔內(nèi)的清潔度。隔熱材料采用石墨成型纖維軟氈,保溫效果好,耐沖擊性好。整個隔熱屏采用金屬框架固定,便于安裝與維護。溫度控制采用一支鎢錸熱電偶全稱控溫測溫使用。同時,在隔熱屏外設(shè)置一支監(jiān)控熱電偶,監(jiān)控隔熱屏外溫度,提高設(shè)備的安全使用性能效率高耐沖擊性強發(fā)熱體與爐體電極聯(lián)接,水冷電極安裝在電爐側(cè)部,并設(shè)冷卻水通水冷卻。

5、真空系統(tǒng):由TRP-16機械泵,和高真空氣動擋板組成,并配有真空壓力表、充氣閥、放氣閥。真空管道與泵聯(lián)接采用快速接頭聯(lián)接(減緩震動),真空測量選用具有數(shù)字顯示功能的復合真空計執(zhí)行。

6、溫控系統(tǒng):控制加熱系統(tǒng)有可控硅調(diào)壓器+低壓高流大功率變壓器+測溫裝置,組成閉環(huán)控制系統(tǒng),溫度儀表采用程序儀表帶PID自動調(diào)節(jié)功能,帶自整定自我調(diào)整能力。穩(wěn)定可靠,控制精度高。控制系統(tǒng)采用PLC+觸摸屏的方式,溫度、真空、位移數(shù)據(jù)可記錄可查詢,曲線可現(xiàn)實,數(shù)據(jù)可保存可導出,溫度程序數(shù)據(jù)可編譯可保存可調(diào)用。控制系統(tǒng)集中安放在爐架的一側(cè)箱體內(nèi),整結(jié)大方,維修方便,所有器件均采用施耐德,西門子等品牌,保證使用安全??刂葡涔裆隙加邪踩举N,安裝接線標準化制作。

7、水冷分配系統(tǒng):由主管道、分管路、水閥、壓力報警等相關(guān)裝置組成,具有斷水聲光報警及自動切斷電源等功能。

8、變壓器及聯(lián)接電纜:采用與之相匹配的變壓器及聯(lián)接電纜

五·設(shè)備配置

1·高真空室                  1臺

2·發(fā)熱體                    1套

3·抽真空系統(tǒng)                1套

4·真空測量裝置              1套

5·控制系統(tǒng)(plc+觸摸屏)    1套

6·坩堝及保溫套              1套

7·惰性氣體充放氣裝置        1套

8·設(shè)備操作說明書            1套

9·設(shè)備質(zhì)保書                1套












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